우리 대학이 ‘반도체특성화대학지원사업’(이하 반도체 사업)에 선정된 이후, 자연캠에선 제3공학관을 중심으로 반도체 인프라를 구축하기 위한 공사를 진행할 예정이다. 지난해 우리 대학이 선정된 반도체 사업은 반도체 학부 교육 역량과 의지를 갖춘 대학을 집중적으로 육성하고자 정부에서 추진한 사업을 가리킨다.
우리 대학의 사업 선정을 계기로 자연캠에선 양질의 반도체 인프라를 갖추기 위한 움직임을 보이고 있다. 자연캠에 위치한 제3공학관 지하 1층에는 반도체 클린룸*(이하 클린룸)을 조성할 예정이며, 이를 목표로 제3공학관과 제4공학관 공동 구간에는 전력 공사를 진행하고 있다. 전력 공사는 클린룸 전용으로 150kW 전기용량을 사용할 수 있도록 하는 ‘분전함 증설’을 목적으로 하며, 공사 이후 클린룸을 조성하고 △플라즈마ALD △DC/RF SPUTTER △정전결합플라즈마식각장비 등 관련 장비를 설치할 예정이다.
클린룸은 △반도체 제조 인프라 진단 기술 교육 연구 △미래형 반도체 소부장 표준 실습 교육 확대 △학부생 다학제 산학프로젝트 및 실습 교육의 장을 위해 이용될 예정이다. 이에 대해 우리 대학 자연캠 시설관리팀(팀장 이유신) 정찬운 팀원은 “본 클린룸을 통해 반도체 인프라 설비 환경 기술교육이 가능하다. 차후 용인 지역에 형성되는 ‘반도체 메가클러스터’에 필요한 반도체 인력 양성과 탄소중립을 위한 친환경 반도체 제조기술에 기여할 것으로 판단된다”고 클린룸 조성의 기대 효과를 밝혔다.
*반도체 클린룸(CLEAN ROOM): 반도체 소자나 LCD 등 정밀 전자 제품은 물론 유전자조작과 같은 극미산업(極微産業)에서 미세먼지와 세균을 제거한 작업실(출처: 한경 경제용어사전)
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